D07-19BM质量流量控制器
主要技术指标 型号 D07-19B 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM 2 准确度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 3 线性 ±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 4 重复精度 ±0.2 % F.S. 5 响应时间
D07-19BM质量流量控制器 特 点: ★高精度,快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,标准机械接头 ★兼容用 途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
型号 D07-19B 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
2 准确度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 3 线性 ±(0.5~1) % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) 4 重复精度 ±0.2 % F.S. 5 响应时间 1 ~ 4 sec 6 气压降 <0.02 MPa (2.9 psid) 7 耐压 10 MPa (1450.4 psig) 8 工作环境温度5 ℃ ~ 45 ℃ 9 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) 10 电源 +15 V 50 mA -15V 200 mA 11 外形尺寸 mm Swagelok:127×38×107 VCR:124×38×107 19 重量 kg 0.7
注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分) 标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ ); 气压 — 101325 Pa (760mm Hg) F.S. (Full Scale): 满量程值
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