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更新时间:2016-05-17 | 阅读:599
详情介绍
供应日本新宇宙 XP-703D半导体检漏仪 北京现货
检测对象气体
半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理
型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度(单位:ppm)
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H20.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
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